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電源和控制系統(tǒng)  離子束刻蝕機(jī)的電源和控制系統(tǒng)包括離子源電源、工件臺(tái)電源、工件臺(tái)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)  器(用于平移工件臺(tái))和力矩電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電源(用于旋轉(zhuǎn)工件臺(tái))、快門(mén)時(shí)間控制器及主機(jī)  電控部分。  ①離子源電源離子源電源由陰極、陽(yáng)極、屏柵極、加速極和中和器等五部分組成  其技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)表1-3

當(dāng)前,陰極電源是通過(guò)運(yùn)算放大器XFC75調(diào)節(jié),釆樣屏柵極電流進(jìn)行負(fù)反饋控制。陽(yáng)  極電源則通過(guò)運(yùn)算放大器XFC75調(diào)節(jié),采樣自身電流進(jìn)行負(fù)反饋控制;屏柵極和加速極電  源均采用減速電動(dòng)機(jī)調(diào)控、高壓二極管整流、阻容π型濾波輸出。  中和器電源由中和與耦合兩臺(tái)電源組成。中和電源通過(guò)運(yùn)算放大器MCl458調(diào)節(jié),采  樣耦合電流控制。耦合電源系三極管整流,π型濾波輸出。它的輸出負(fù)端接于中和器陰極輸  出端,正端接地

快門(mén)時(shí)間控翻器千電兩用四H聯(lián)動(dòng)的單時(shí)月結(jié)構(gòu)快門(mén)用aLsK2m3、LsK3  F到鼓設(shè)備1國(guó)快門(mén)電線圓由固定的30V電國(guó)驅(qū)動(dòng),快門(mén)動(dòng)作方向由隱電  器)和Jm觸點(diǎn)行切換面沒(méi)變,由于快門(mén)的開(kāi)關(guān)動(dòng)作要在幾秒鐘之內(nèi)完成,加上電  線的安阻數(shù)大,導(dǎo)線,為不使線圈發(fā)熱,電磁鐵的俱電電路設(shè)計(jì)了5s延時(shí)通電  電,在保證快門(mén)動(dòng)作完成后,將電線圈斷電,這個(gè)電路由BG3、J、BCa、J等元  件組成,快門(mén)時(shí)間控制四分手控和計(jì)算機(jī)控制的束控兩種控制方式,手控時(shí)將通過(guò)計(jì)  n機(jī)以及由差動(dòng)式比較器BC07連接成的窗口鑒別器送出的信號(hào)電壓控制BG1和B  ③主機(jī)電控系統(tǒng)離子束刻蝕的主機(jī)電控系貌由控制變壓器,壓力繼電器,熱繼電器  的基級(jí)控制快門(mén)的開(kāi)和關(guān)  半導(dǎo)體時(shí)間繼電器、中間繼電器、交流接觸器、螺旋式焰斷器、訊響器、開(kāi)關(guān)、插座、信號(hào)  燈等組成,位于主機(jī)機(jī)柜中,保證機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、電磁帶放氣真空閥、插板閥、三通閥  ①算機(jī)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)工作一深度加權(quán)刻蝕的離子束刻蝕設(shè)備,要用計(jì)算機(jī)控制  復(fù)合直空計(jì)及供水系統(tǒng)正常工作  系統(tǒng),深度加權(quán)的刻蝕深度按照預(yù)先給定的曲線分布進(jìn)行,由于離子束的強(qiáng)度是恒定的,離  子的位置也是固定的,而工件臺(tái)相對(duì)于離子源作一維平移,所以控制工件的刻蝕深度即轉(zhuǎn)  計(jì)算機(jī)TRS80先按給定的數(shù)據(jù)模型計(jì)算出對(duì)應(yīng)于工件每個(gè)位置所需的刻蝕時(shí)間,并存  化為控制工件在各個(gè)不同位置的刻蝕時(shí)間  入內(nèi)存;然后控制步進(jìn)電動(dòng)機(jī)使工件臺(tái)作一維方向的平移,每移動(dòng)一定的距離,停留某一預(yù)
在刻蝕過(guò)程中,用計(jì)算機(jī)控制,主要實(shí)現(xiàn)以下幾個(gè)功能:n.控制刻蝕時(shí)間;b.控制工  定時(shí)間  件臺(tái)平移;c控快門(mén)開(kāi)、關(guān);d.巡檢束流。即當(dāng)配電系統(tǒng)的各種故障引起束流不正常時(shí),  希望保留現(xiàn)場(chǎng),計(jì)算機(jī)處于暫停狀態(tài),待故障排除后繼續(xù)進(jìn)行刻蝕:c.控制步進(jìn)電動(dòng)機(jī)能正、反轉(zhuǎn)進(jìn)行雙向刻蝕  ⑤工件臺(tái)電源系統(tǒng)工件臺(tái)電源是兩臺(tái)可調(diào)穩(wěn)壓電源。調(diào)控板使用同一塊印刷電路板  它通過(guò)一個(gè)雙聯(lián)乒乓開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換,供給多軸工作臺(tái)或三維工作臺(tái)使用。三維工作臺(tái)的電源電壓  可高達(dá)30V,功率大。多軸工作臺(tái)有停轉(zhuǎn)現(xiàn)象發(fā)生時(shí),可瞬時(shí)轉(zhuǎn)換給三維工作臺(tái)電源進(jìn)行沖  擊,促使其電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),三維工作臺(tái)有停轉(zhuǎn)現(xiàn)象時(shí),可再調(diào)高其電源電壓,促使轉(zhuǎn)動(dòng)。工作臺(tái)電源若有故障,電動(dòng)機(jī)不轉(zhuǎn)時(shí),有報(bào)警音響報(bào)警。  化整機(jī)控制系統(tǒng)離子束刻蝕設(shè)備整機(jī)自動(dòng)化是設(shè)備發(fā)展的方向LSK3型機(jī)實(shí)現(xiàn)
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