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 化征氮質(zhì)譜檢漏儀性能的主要指標(biāo)是它的漏率  度qmn(即最小可檢漏率)和分壓比靈敏度  (亦即最小可檢分壓比),這是兩個(gè)在氮質(zhì)譜檢  儀出廠校準(zhǔn)時(shí)所規(guī)定的最佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀  圖1124氮質(zhì)謂檢漏儀在
輔助真空系統(tǒng)中的位置  器靈敏度。但是在利用氨質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行具體的檢1一噴;2一被檢件3一高真空:4一擴(kuò)就  麗時(shí),由于諸多具體條件的不同,因此儀器所能達(dá)  6一前級(jí)真空容器1G一低真空
到的靈敏度與其在最佳條件下所測(cè)得的靈敏度是不  前級(jí)泵:8一檢漏僅
會(huì)相同的。通常把儀器在使用時(shí)所能達(dá)到靈敏度稱為儀器的檢漏靈敏度,該靈敏度是低于僅器  校準(zhǔn)時(shí)所給出的靈敏度的  氨質(zhì)譜檢漏儀的漏率靈敏度,或稱最小可檢漏率,記作9m,它是指檢漏僅處于最佳工  作條件下,以一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的純氫氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí),所能檢出的最小漏孔的  漏率。這里所說的最佳條件,就是被檢件出氣很少且沒有大漏孔,儀器本身的工作參數(shù)調(diào)整到  最佳工作狀態(tài)的條件。即儀器節(jié)流閥完全開啟,質(zhì)譜室內(nèi)為最佳工作壓力,沒有軸助真空系統(tǒng)  分流,儀器本底和噪聲最小,放大器放大倍數(shù)最大,發(fā)射電流和加速電壓穩(wěn)定,工作壓力穩(wěn)定  以及氮峰準(zhǔn)確等。而動(dòng)態(tài)檢漏則是指檢漏時(shí)儀器內(nèi)部真空系統(tǒng)仍然在正常抽氣(不是累計(jì)法檢  漏),而且當(dāng)真空系統(tǒng)在時(shí)間常數(shù)不大于1s的條件下,儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s時(shí)所進(jìn)行的  檢漏。最小可檢漏率,則是指儀器輸出表上可以觀察出來(lái)的最小的指示變化,該變化主要受無(wú)  規(guī)律起伏變化的噪聲所限制。儀器的噪聲是由于各種參數(shù)不穩(wěn)定而引起的,外電源電壓波動(dòng)  真空度變化、發(fā)射電流變化、加速電壓變化、放大器性能變化及外界電磁場(chǎng)干擾等都會(huì)引起輸  出儀表的不穩(wěn)定擺動(dòng)。如果漏入的氮?dú)馐馆敵鰞x表的變化值小于噪聲,那么我們就很難判斷究  竟是漏氣信號(hào)還是噪聲,因此,嗓聲的大小也就成為能否判斷漏氣信號(hào)的標(biāo)準(zhǔn)。所以,這里所  指的“最小可檢漏率”是指引起輸出指示的變化量等于二倍(也有規(guī)定為一倍)噪聲所對(duì)應(yīng)的  漏率值。因此,檢漏時(shí)應(yīng)盡量采取措施降低儀器噪聲,以利最小可檢漏率。  在檢漏儀質(zhì)譜室處于工作壓力下,儀器可檢出的氦分壓比的最小變化量稱為分壓比靈  度,亦稱為最小可檢分壓比,記作Ymn  氦質(zhì)譜檢漏儀在實(shí)際檢漏條件下所能達(dá)到的靈敏度稱作檢漏靈敏度。由于檢漏時(shí)保證不  校準(zhǔn)儀器時(shí)所規(guī)