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   小型制冷機低溫泵的啟動壓力受制冷功率限制,不能在大氣壓下工作,可根據(jù)  對真空清潔程度的要求,將系統(tǒng)壓力粗抽到100-101a即可啟動制冷機壓縮機  達到規(guī)定的制冷時間后即可關(guān)閉前級粗抽閥門停止粗抽,打開高真空閥切換到低溫  泵抽氣。低溫泵進氣口允許的最高壓力稱為轉(zhuǎn)換壓力(與二級冷頭制冷功率和被抽  容器體積有關(guān)),應(yīng)按照廠家給出的轉(zhuǎn)換壓力進行操作,過高的轉(zhuǎn)換壓力會影響制冷機低溫泵的正常工作  小型制冷機低溫泵與濺射離子泵相比,啟動容易,能抽除大量氫氣,不存在高的往復運動,會引起輕酸的振動,系統(tǒng)配置電子能諧儀、二次離子諧儀和其他表面分析儀時,需要采用有效的減振措施  低溫泵進氣口冷板溫度遠低于真空容器的壁溫,這種溫度場對泵口附近的氣體  分子的空間分布有明顯的改變,會影響真空計的測量精度,嚴重時誤差接近一倍之  多。同理,不同溫度表面蒸發(fā)出的分子速度不同,待別是低溫面較大的系統(tǒng)(如空  間環(huán)模設(shè)備)很難闡述系統(tǒng)中壓力的確切意義,這是在進行表面分析研究時需要特別關(guān)切的問題
低溫泵另一問題是制冷機能力有限,容易受長波紅外線的輻射影響,試件或生  產(chǎn)工藝用加熱器進行加熱時,對低溫表而需設(shè)計熱屏蔽(如泵口加裝水冷擋板等)要求熱屏蔽的設(shè)計既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速過度降低
使用小型制冷機低溫泵最值得注意的問題是停止泵運轉(zhuǎn)時的安全問題。整個運轉(zhuǎn)期間所抽除的氣體都被冷凝吸附在泵內(nèi),停止運轉(zhuǎn)后隨著低溫板的升溫,被抽氣體將全部釋放出來,形成的高壓氣體一旦超過泵體的機械強度,可能發(fā)生爆炸事故。對于小型的超高真空系統(tǒng),運轉(zhuǎn)時間很短,抽出的氣量很少,所有的氣量都不足以形成高于大氣壓,停泵后可以不用前級泵將釋放的氣體抽除,等下次啟動低溫泵時再預抽釋放的氣體。如果抽氣時間很長,抽氣量很大,停泵時必須打開前級泵抽除釋放的氣體,直到二極冷頭升溫到安全溫度,才能全部停掉抽氣系統(tǒng)。不論何種情況,都要經(jīng)常檢查維修過壓安全閥,一且釋放的氣壓過高,能夠自動排向大氣,確保泵體安全。
另一個安全問題是不能用低溫泵抽除像H2、O2混合的危險氣體或SiH4這種自燃氣體,否則會存在爆炸安全隱患。最好安裝能將低溫泵釋放的氣體排出室外的排氣管道,作為安全防護的第二道防線