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超高真空閥門(或稱可烘烤真空閥門)與高真空閥門的區(qū)別是閥門暴露于真空  中的所有結(jié)構(gòu)材料應(yīng)有足夠低的蒸氣壓并能承受高溫烘烤。為此,閥桿的傳動(dòng)密封  通常采用波紋管密封,金屬波紋管傳動(dòng)方式可根據(jù)需求參考圖3-19進(jìn)行設(shè)計(jì),漏  率要求小于1×10-6Pa·L/s。波紋管每節(jié)的伸縮量很小,應(yīng)盡可能選擇移動(dòng)行程  短的閥門啟閉結(jié)構(gòu),減小波紋管體積和材料出氣速率,對(duì)于長(zhǎng)行程的間門可采用焊  接波紋管,它不僅價(jià)格昂貴,而且占有龐大的容積,

     將金屬加雞到足夠高的溫度·內(nèi)部電子的能量隨  熱電子發(fā)財(cái)現(xiàn)象可利用如圖42所示的實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行觀稱,射就叫做千子的  量足以克面表面勢(shì)坐面由金屬體內(nèi)進(jìn)入真空,這樣用到的化子為明  將圖中玻殼內(nèi)抽成真空,并在其中裝上平板陽極A  和金屬絲做成的陰K,給陰極接上電源而通過電流使陰  段加熱,則毫安表指出陰極陽極線路內(nèi)有電流通過。顯  然、這個(gè)電流是由高溫的陰極發(fā)射電子并且電子向著具有  正電位的用極運(yùn)動(dòng)面引起的。

電源和控制系統(tǒng)  離子束刻蝕機(jī)的電源和控制系統(tǒng)包括離子源電源、工件臺(tái)電源、工件臺(tái)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)  器(用于平移工件臺(tái))和力矩電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電源(用于旋轉(zhuǎn)工件臺(tái))、快門時(shí)間控制器及主機(jī)  電控部分。