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   超高真空校準(zhǔn)  超高真空計是超高真空全壓力測量的重要工具，為了得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果，必  須對真空計進(jìn)行校準(zhǔn)以保證在超高真空條件下應(yīng)用的可靠性。此外，對于冷陰極電  離規(guī)的非線性，盡管生產(chǎn)廠家作了線性處理，但如果不進(jìn)行校準(zhǔn)仍會帶來很大誤  差。熱陰極電離規(guī)在線性測量范圍內(nèi)要達(dá)到測量精度也需要進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)是在專  門的超高/極高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)中進(jìn)行的。目前采用的校準(zhǔn)系統(tǒng)有：分子束法校準(zhǔn)系  統(tǒng)、壓力衰減法校準(zhǔn)系統(tǒng)、流導(dǎo)調(diào)制法校準(zhǔn)系統(tǒng)和分流法校準(zhǔn)系統(tǒng)。  圖4-12所示為采用分流法和壓力衰減法的極高/超高真空校準(zhǔn)裝置，包括：極  高真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、流量分流系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)。分流法是將已知流量氣體  引入分流室，通過分流室兩個流導(dǎo)相差很大的小孔(流導(dǎo)比約為100:1)分流到  極高真空校準(zhǔn)室和超高真空校準(zhǔn)室。在動態(tài)條件下極高真空校準(zhǔn)室的壓力p為：

4-10)  p=QC(1-R)(1+Rc)  式中Q引人分流室氣體流量，Pa·m/  Rn極高真空系統(tǒng)抽氣限制孔返流  C-—極高真空系統(tǒng)抽氣限制孔流導(dǎo)，m3/s;  Rc—分流室分流小孔流導(dǎo)比(流入超高真空室小孔流導(dǎo)和流入極高真空室  小孔流導(dǎo)之比)

 
式中的各參數(shù)R、C、Rc均可以通過實驗精確測量，Q可以由精密微流量計  給出。利用校準(zhǔn)室壓力可以對被校準(zhǔn)規(guī)進(jìn)行絕對校準(zhǔn)  在沒有流量計的條件下，可以向分流室充入一定壓力氣體，通過小孔向極高真  空校準(zhǔn)系統(tǒng)充氣，動態(tài)平衡后極高真空校準(zhǔn)壓力被衰減為  p=pC1/C(l-Rp

(4-11)  式中p動態(tài)平衡時分流室壓力(標(biāo)準(zhǔn)壓力規(guī)測量),Pa;  分流室流向校準(zhǔn)室小孔流導(dǎo)，m3/s;  該校準(zhǔn)裝置的主要技術(shù)指標(biāo)為：校準(zhǔn)室極限壓力，極高真空校準(zhǔn)室為7.9  10-0Pa,超高真空校準(zhǔn)室為2.3×10-9Pa;校準(zhǔn)壓力范圍，分流法2.1×10  7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度小于0.41%~3.5%  利用該裝置對反磁控冷陰極計和熱陰極超高真空計進(jìn)行校準(zhǔn)給出修正系數(shù)和系數(shù)  壓力曲線。校準(zhǔn)時間約為7天(包括規(guī)連續(xù)校準(zhǔn)2天時間)。  為了滿足常用的超高真空電離計的校準(zhǔn)要求，通常采用比對的相對校準(zhǔn)方法  該方法具有校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、校準(zhǔn)效率高和實用性強(qiáng)等特點。比對法  超高真空校準(zhǔn)裝置如圖4-13所示，校準(zhǔn)系統(tǒng)采用圓柱形結(jié)構(gòu)，由抽氣室和校準(zhǔn)室  組成，兩室之間采用一個圓孔限制流導(dǎo)。被校規(guī)和參考規(guī)分別安裝在校準(zhǔn)室赤道線  的對稱位置上。參考規(guī)選用IE514分離規(guī)，該規(guī)在極高/超高真空校準(zhǔn)裝置上進(jìn)行  壓力絕對校準(zhǔn)，不確定度1.8%。比對校準(zhǔn)系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)為：校準(zhǔn)系統(tǒng)極限壓力  5×10-9Pa、壓力校準(zhǔn)范圍10-7~10-5Pa、擴(kuò)展不確定度≤10%(k=3)。

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