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1超高真空油擴散泵的極限壓力  超高真空油擴散泵極限壓力是指沒有外來氣源的條件下,泵長期運轉(zhuǎn)所能達到  的最低壓力(即真空泵自身所能達到的最低壓力),此時泵的抽速為零。事實上,  測定擴散泵極限壓力時,需要裝上按國家標準規(guī)定的測試罩,并依照規(guī)定程序進行  測定,此時測試罩內(nèi)的氣體負載,將影響到實測的極限壓力值。  泵的極限壓力可用下式表示:
P=P+QF+Oc

式中p—擴散泵的極限壓力,Pa;  P—測試罩壁溫下泵油的飽和蒸氣壓,Pa  S擴散泵的抽速,L/s;  Q-泵的返流氣體流量,Pa·L/s;  Q測試罩內(nèi)氣源的氣體流量(出氣量、漏氣量

從公式(21)可以看出,測試罩的Qc值,可通過超高真空焊縫及密封結(jié)構(gòu)設  計、焊接加工工藝及嚴格的檢漏規(guī)范,將漏氣量減少到允許值以下;對于材料的出  氣量,可采用300℃以上高溫烘烤和連續(xù)長期抽氣的方法,以降低材料的出氣速  率。若不考慮測試罩、人口處泵壁的漏氣、材料放氣對極限壓力的影響,理論上影  響超高真空油擴散泵極限壓力的主要因素是泵油的飽和蒸氣壓和泵的返流(泵的返  流包括油蒸氣和被壓縮的氣體返流)。它們和泵油的選用、泵油的分餾設計、泵油  的防返油結(jié)構(gòu)以及泵的噴口級數(shù)等有關,因此,選用超高真空油擴散泵時,應注意  y下泵的性能特點。