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    根據(jù)要求的工作壓力Pw和使用要求,選擇油擴散泵為主泵。其真空抽氣機組如圖3-12  從圖3-12可知,擴散泵上面安裝有中600單百葉窗障板;障板上面安裝有GDDJ600手  電兩用擋板閥,前級配有兩臺2X-70型機械泵組成真空機組

a)根據(jù)所需的有效抽速,考慮到加上障板、擋板閥后的泵的抽速損失,暫選抽速為  17000L/s的K-600T擴散泵進行試算  b)計算擴散泵與真空室排氣管道的流導,為驗證選K-600T擴散泵是否合適  總的流導C由高真空管道C1、障板流導C2、擋板閥流導C3串聯(lián)組成。
確定氣體沿管道的流動動態(tài)。當真空室工作壓力Pw=2.67×10-2Pa,擴散泵入口壓力  很低時,故管道出口壓力可以忽略。管道中的平均壓力p=Pw/2=1.33×10Pa,此時  pd=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d為管道直徑),可見為分子流  在分子流狀態(tài)下,高真空管道流導C1=11.64AaL/s,A為管道截面積,a為流導系數(shù)。當  L/d=125時,得a=0.5,代入C1式得C1=1639/s;C2為15000/s,C3為12600/s  C2C3+C1C3+C1C24830.6L/s  總流導C  c)計算擴散泵的抽速S。擴散泵的抽速S由真空室所需的有效抽速S和總流導C決  定,計算公式為

14162.3L/s  由此可知,選擇K-600T擴散泵是合適的。此泵在10-2~10-4Pa范圍內(nèi)的平均抽速為  16000~17000L/s,極限真空度p0=7×10-5Pa,能滿足本機真空系統(tǒng)為2.67×10-2Pa的  要求。而該泵的最佳工作壓力在1×10-2~1×10-4Pa,能滿足本機工作壓力Pw為2.67×  10-2Pa的要求。