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 (1)設(shè)計(jì)一臺(tái)有油的真空系統(tǒng)  、直空系統(tǒng)真空室的直徑為100cm,容積為V=1.5m3,內(nèi)表面積為7.5m3,真空室  材料為不銹鋼,1h后的出氣率為2.3×10-Pa·L/s(s·cm2),2h后的出氣率為1.5

1/(s·cm
真空室工作壓力  p=1.3×10-3Pa
真空室工藝過(guò)程中放出的氣體量  Q1=1.3Pa·L/s
系統(tǒng)的總漏氣量  Q2=6.7×10-1Pa·L/
被抽氣體為20℃干燥空氣;返流油蒸氣對(duì)工藝過(guò)程有害  ①確定真空室中1.3×10-3Pa的工作壓力所需要的真空系統(tǒng)的有效抽速S由公式(3-19)可得
Q
中Q=Q1+Q2+Q3(Q3為真空室表面出氣量,暫選不銹鋼h后的出氣量)

Q3=2.3×10-5Pa·L/(s:cm2)×75000cm2=1.7Pa·L/s將Q值代人式中得
Q  pg1.3×10-32823L/s
況適
②租據(jù)要求的工作壓力及使用要求,選油擴(kuò)股作為上泵  為了止油過(guò)人直空家中,擴(kuò)某與真空室之間安裝山型檔板,山型擋板比流  1.161(x·cm1)并配上一個(gè)高直空擋板閥,擴(kuò)泵曲級(jí)泵選2X型機(jī)械泵組成的真空  (如圖3-11所示  求,泵的有效抽速為  慮到加上閥門(mén)、直板后泵的抽速  實(shí)(一股的有質(zhì)C的始  暫選
進(jìn)行試算  ,全可滿要求,的出氣日直徑  0.6m,排氣口直徑為0.15m  ③計(jì)算擴(kuò)散泵與真空室排氣口同  路的流導(dǎo),驗(yàn)證選K600型擴(kuò)散泵是否

圖311高真空油擴(kuò)數(shù)泵系統(tǒng)簡(jiǎn)  電離度,7一真交復(fù)3一高真空置遺,4一高直空擋板閥  K-600型擴(kuò)散泵口徑為0.6
一擋板:C一F復(fù),2一級(jí)管路:8一熱閃規(guī)  大擋板流導(dǎo),將其直徑擴(kuò)大到700
一電磁閥:10一機(jī)械果  (如圖311所示),計(jì)算流導(dǎo)時(shí)為簡(jiǎn)化計(jì)
算起見(jiàn),擋板錐體部分不做計(jì)算  總流導(dǎo)由高真空管道3的流導(dǎo)、閥門(mén)4的流導(dǎo)及擋板5的流導(dǎo)串聯(lián)得到  確定氣體沿管道的流動(dòng)狀態(tài)。真空室工作壓力P,為1.3×10-2Pa  時(shí),擴(kuò)散泵人口壓力很低,故管路出口壓力可以忽略,管路中的平均壓力  =6.5×10-4Pa,此時(shí)p6.5×10Pa×0.6m=3.9×10-Pa·m<0.02P2·m,可見(jiàn)為分子流
a,高真空管道(3)的流導(dǎo)
U3=11.6Aa(a=0.8)=11.6d2a=11.6×2827×0.8≈260001/s
閥門(mén)(4)的流導(dǎo)
板  (5)的流導(dǎo)
)]=3.16×d
d.總流導(dǎo)

散泵的抽速S

≈9800L/s  由此可見(jiàn),選K-600型擴(kuò)散泵是合適的,此泵在  13000L/s  10  范圍內(nèi)的平均抽速為  ④計(jì)算前級(jí)真空管路流導(dǎo)K600型擴(kuò)散泵臨界前級(jí)壓力pn為40Pa。由抽速曲線可  知,在2.7×10-2Pa下,擴(kuò)散泵最大排氣量Qmx=pS=2.7×10-2×1000=279Pa
在擴(kuò)散泵出口管道斷面處,要求前級(jí)泵的有效抽速不小于

Q
≈7L/s  擴(kuò)散泵排氣口的直徑為15cm,選前級(jí)管道直徑為0.15cm,長(zhǎng)度為3m,由于管道長(zhǎng)可  以不考慮彎角的影響  確定流動(dòng)狀態(tài):擴(kuò)散泵出口壓力為40Pa,機(jī)械泵進(jìn)氣口壓力要比40Pa低得多,在計(jì)算管  道中平均壓力時(shí)可以忽略,故p=2n=20Pa。此時(shí)pd=20×0.15=3Pa·m>0.67Pam  可見(jiàn)為黏滯流  前級(jí)管道的流導(dǎo)

L  前級(jí)泵的抽速

SaU
7L/s  通常把S增大1.5~3倍后選泵。若增大3倍,則Sp為21L/s,可選2X-30型旋片式機(jī)  械真空泵,若考慮到兼做粗抽泵,為縮短粗抽時(shí)間,可以選2X-70機(jī)械泵  ⑤計(jì)算抽氣時(shí)間不考慮管道的容積,真空室容積為V=1.5m3,工作壓力p=1.3×  10-3Pa,用2X-30型機(jī)械泵從大氣抽到13.3Pa,其抽速Sp為30L/s(因?yàn)楣艿懒鲗?dǎo)很大  故管道對(duì)抽速的影響可以忽略)。由公式(3-15)得

15m  t=2.3K
V, p
1.5×103  般粗抽時(shí)間不大于10~30min。故從抽氣時(shí)間角度來(lái)看,選2X30型機(jī)械泵做前級(jí)泵  是可以的  計(jì)算從13.3Pa到1.3×10-3Pa的抽氣時(shí)間