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正宇真空設(shè)備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
濺射離子泵不能在高于1Pa壓力下啟動,必須用預(yù)抽泵將泵和容器從大氣抽 到泵規(guī)定的啟動壓力以下才能啟動。濺射離子泵的預(yù)抽,可以采用下面四種 方式。 ①干式機械泵。干式機械泵無油蒸氣的污染,用做濺射離子泵的預(yù)抽,可獲 得全無油清潔的超高真空。但是須要多級串聯(lián)或相互組合,適用的干式泵的極限壓 力見表2-15。 ②油封機械泵加吸附阱或離子阱。前者可以抽到10-2~10-3Pa,后者只能抽 到10-Pa,都能使濺射離子泵順利啟動
③干式機械泵加鈦升華阱。先用干式泵或機組抽到0-1Pa,關(guān)閉閥門并停止 抽氣,然后啟動鈦升華泵,一般只需2~3min,就能將幾十升的真空容器抽到 關(guān)掉鈦升華泵后,再啟動濺射離子泵 ④有液氮條件下,可采用油封機械泵加液氮擋板。雖然不能做到完全無油 但是由于預(yù)抽時間很短,油的污染可以忽略不計。啟動快,使用方便。
真空泵維修，真空泵油
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