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渦輪分子泵是一組帶葉片的分子透平機,通過高速電機帶動葉片高速旋轉(zhuǎn),將  動量傳遞給氣體分子,壓縮氣體實現(xiàn)抽氣。轉(zhuǎn)子速度一般在10000~60000/m  由固體電源或電動發(fā)電機組驅(qū)動。由于單組葉片對氣體的壓縮比太小,所以需要  多級葉片串聯(lián)起來,在各級動片之間交替開槽安裝固定葉片。大型泵,交替排列的  動片和定片一般有10~20組,間隙為1mm左右(大型泵為2~3mm)。為了提  的抽氣性能,靠近高真空進氣口的幾級葉片與接近排氣口幾級葉片形狀不同,排
氣口附近的葉片組設(shè)計成高抽速低壓比,排氣口附近的葉片設(shè)計成低抽速高壓比
因為通過各級的氣體流量相同,所以,一般將葉片分為三組,各組葉片設(shè)計時選擇
最佳的葉片間隔同葉片弦長之比,并且在抽速和對輕的氣體壓比之間進行分析來設(shè)
計最佳的葉片角度,通常葉片斜角一般在20°
商品系列泵的抽速范圍為70~4150L/s,
極限壓力10-7~109Pa,在氣流量為零的條件
下,若各級葉片壓縮比為5,九級葉片串聯(lián)后
的壓縮比可近似等于59=2.44×108數(shù)量級  圖218所示為20世紀60年代研制出的立式  渦輪分子泵。立式渦輪分子泵只有一組抽氣渦  輪組件,從結(jié)構(gòu)、裝配的角度來看,立式泵  比臥式泵要簡單得多,在我國已代替臥式渦  輪分子泵發(fā)展成為主流渦輪分子泵。1966年  法國 Sneen  公司推出口徑
極限壓力1.9×  抽速
的大型渦  輪分子泵,我國商用立式渦輪分子泵大都采用  高速軸承或向瓷軸承,驅(qū)動方式有電子模擬式  自動變頻電源、微機程控式自動變頻電源和電圖218立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)簡圖
機變頻式三種電源。轉(zhuǎn)速14000~42000/min,抽速110~3600L/s,極限壓力  10-8Pa  分子泵進氣口端的葉片工作時處于分子流態(tài),扭矩較小,接近排氣口的葉片受  氣體的阻力大,如果前級管道的壓力過高,使葉片處于過度流或黏滯流范圍時,氣  體的黏滯阻力就對葉片產(chǎn)生附加阻力,因為穩(wěn)態(tài)情況下,轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動功率與轉(zhuǎn)速和  扭矩的乘積成正比,當(dāng)電機功率富余度較少時,前級壓力增高時會使泵的轉(zhuǎn)速突然  降低,引起抽速嚴重下降  采用恒速電機,可在前級壓力增高時,輸出更大的功率用以保證分子泵的轉(zhuǎn)速  不變,但是,當(dāng)前級在黏滯流范圍時,雖然泵的轉(zhuǎn)速恒定,仍然會出現(xiàn)抽速損失  這可能與流導(dǎo)限制有關(guān)聯(lián),因此,配置的前級泵的抽速要足夠大。  渦輪分子泵需要潤滑油潤滑軸承,由于潤滑油的蒸氣會返流到真空容器中造成  污染,所以還不是絕對無油的清潔真空泵。  此外,它的前級不能承受大氣壓,需要配備前級真空泵才能正常工作。