正宇真空設備
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
擴散泵的加熱功率對泵的極限壓強、抽氣速率、前級耐壓和抽氣量等性能參數(shù) 影響較大。圖2-17給出了這些影響數(shù)據(jù)曲線 般說來,油溫、前級極限壓力、抽氣量都隨著加熱功率的增加而增加,但過 高的加熱功率反而使抽速降低,這是因為過高的蒸氣分子密度降低了入射氣體分子 的擴散系數(shù)和蒸氣流邊層湍流效應的增加以及油的熱裂解等原因造成的。從圖中給 出的抽氣速率曲線,還可以看出對不同氣體抽速的最佳加熱功率是不相同的,質(zhì)量 輕的氣體的最佳加熱功率大于質(zhì)量重的氣體。極限壓力有一個最佳加熱功率值,加 熱功率不足時氣體的反擴散增加,過高時則使油的熱分解加重,影響擴散泵的極限 真空。而且不同結(jié)構(gòu)的擴散泵采用不同牌號的泵油時,都有不完全相同的最佳加熱 功率,需要通過實驗給出 擴散泵的抽氣量與加熱功率成正比,設計良好的擴散泵熱效率可以達到每千瓦 加熱功率得到大約150Pa·L/s的抽氣量。圖中給出的功率與前級極限壓力和抽氣 量的關系曲線是一條單調(diào)上升的直線,其斜率則表示不同結(jié)構(gòu)泵種的熱效率。 超高真空油擴散泵的最佳加熱功率,很難調(diào)整到擴散泵性能的各項指標都處于 最佳值。要根據(jù)實際需要,統(tǒng)籌兼顧,通常是以泵的極限壓力、抽速為主要指標, 兼顧返油率、極限前級壓力、抽氣量、熱效率等指標。