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    泵油的返流定義為泵液及其裂解物遷移到真空室的現(xiàn)象。單位時間、單位泵口  面積上返流到被抽容器中泵油的質(zhì)量,稱為泵的返油率,單位為mg/(min:cm2)。  泵油的返流,不僅影響到泵的極限壓力,凝結和爬移的油還會對真空室及器件造成
嚴重的污染。一些不希望油蒸氣污染的真空系統(tǒng)  把返油率作為擴散泵的重要指標。實驗證實,油蒸  氣的返流途徑,大致可歸納為如圖2-3中所示的五

種途徑  ①泵油沿泵壁表面爬移的冷凝油膜的再蒸發(fā);  ②噴嘴噴出的高速油蒸氣碰到泵壁后的反射  ③頂級噴嘴表面的油膜及油滴的再蒸發(fā)  ④頂級噴嘴邊緣凝結的油滴再蒸發(fā)以及該處蒸
氣湍流的漫散射;
⑤油膜沿泵壁的爬移  其中,第③、④兩項是油蒸氣返流的主要途圖2-3油蒸氣返流示意圖徑,大約占總返油量的70%。若頂級噴嘴采用螺釘連接,則所占比重增加到75以上。返油率與擴散泵的結構、冷卻水的流量、加熱功率以及泵油的牌號等有關生產(chǎn)廠家給出的返油率是無擋板泵的入口平面的返油率,而系統(tǒng)設計者關心的是板或液氮冷阱上部的穩(wěn)態(tài)返油率。