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                        工作真空度  正確地了解與確定一個設備所要求的真空度是很重要的，  它直接影響到真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)選擇和對設備維修的要求。真空  系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠  的氣密性，內(nèi)部又沒有經(jīng)常放出氣體或蒸氣的氣源，則這一要求  是可以滿足的。當然也并不是真空度愈高愈好。否則會使設備  外形過分臃腫，成本增加。

                        (1)烘烤  這主要是射離子泵內(nèi)鈦沉積層吸附了大量水汽之故。為驅(qū)除水汽必須姚。抽速也小，  當濺射離子泵長期暴露大氣時，不但會出現(xiàn)啟動困難，而且極限壓力也  烘烤時應將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下，緩緩升溫，直至250~300℃,恒溫  12h,烘烤時泵內(nèi)真空度應不低于1×10-1Pa。烘烤完畢后，緩緩打開烘箱，裝上磁鋼。  )氬清洗處理  濺射離子泵沾污過油蒸氣或其他有機物，陰極板氧化或大量排過氫氣，則濺射離子泵真  空度會下降。一般可采用烘烤去氣后再進行清洗處理。氬清洗是用氬離子轟擊鈦板，把陰  極板上的沾污物或溶解在陰極板里面的氫轟擊出來。

   在超高真空實際量中，圖量結(jié)果的準確性除了和真空計本身、真空計的校準  有美外，還和測量中其他因素有關(guān)，如氣體種類和被測系統(tǒng)狀態(tài)、直空計規(guī)管及連  接管道的抽氣與放氣、規(guī)管的安裝位置及方法等。超高真空系統(tǒng)中的氣體組分比較  簡單，殘余氣體和常用的工作氣體多為H2、N2,Ar、CO、CO2等單一氣體，影  響量的O、H1O、油氣等氣體可以少于考慮。影響測量的主要因素為：電離  規(guī)的抽氣與氣體再釋放、熱表面與被測氣體相互作用及非均勻態(tài)的壓力測量等。

深圳楊程真空設備主要從事真空泵維修、萊寶真空泵維修服務。下面，和大家說說萊寶真空泵之擴散泵維護與保養(yǎng)。

油擴散泵的性能參數(shù)  (1)極限壓力  油擴散泵的極限壓力是指泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作  的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。泵的極限壓力受許多因素的影響，如前級側(cè)氣體的反擴  散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸氣壓、蒸氣流中釋放出來的氣體以及泵壁放氣等。