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  制冷機低溫泵是把低溫面及擋板組裝在封閉循環(huán)制冷機系統(tǒng)中與制冷機組合為一體的低溫  泵,它是利用的低溫表面的低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集等物理現(xiàn)象來獲得和保持高真空  和超高真空。其特點為:(1)便于抽氣系統(tǒng)實現(xiàn)完全自動化控制;(2)可實現(xiàn)較高的抽速,S  100m3/s,可以滿足大型真空設備中所需要的抽速。 

   渦輪分子泵的主要優(yōu)點是能獲得具有較為清潔的真空以及對被抽氣體化學特性  不敏感。但抽速還不能做得很大。從應用方面來看,分子泵安裝、運轉(zhuǎn)時要注意以  下幾點。  ①立式和臥式兩種分子泵都不能承受穩(wěn)定的或瞬時的扭矩,進口法蘭不能承  受重的真空容器載荷或懸臂載荷,與系統(tǒng)法蘭連接時要特別小心時,不能使分子泵  受到大的沖擊,否則會損傷轉(zhuǎn)子及軸承。最好是將渦輪分子泵懸吊在容器法蘭上,  而不能像擴散泵那樣用進口法蘭作為系統(tǒng)安裝平臺。

A油的返流  在旋片泵工作時,油蒸氣會逆著氣流運動  方向進入泵入口,通過入口管路最終進入被抽  容器。油蒸氣的返流量隨壓力的降低而增加,在極限壓力附近時,返流量最大(見圖731)返流油蒸氣主要由泵油中最輕的餾分組成。
油的返流會污染真空室,影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量,必須加以控制。

  油擴散噴射泵正如前已指出,它在10~10-1Pa壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,正好填補了
油封機械泵和油擴散泵的中間地帶。在某些真空裝置中存在著明顯的放氣使壓力可能升高到  13.3~133Pa,同時還要求獲得10~10-2Pa的低壓。在這種情況下,如用油擴散噴射泵工  作,正好能滿足這些要求。因此,油擴散噴射泵被廣泛用于真空冶煉的真空感應爐和真空電  弧爐上及真空熱處理設備上等。為了能使該泵能正常的運轉(zhuǎn),需考慮如下問題 

帶冷阱的超高真空油擴散泵  ①超高真空油擴散泵不能在大氣壓下工作,需要用粗抽泵將真空容器的大氣  抽至啟動壓力以下,油擴散泵配置的前級泵,在較低的前級壓力下其排氣量應大于  擴散泵的最大排氣量,用以減少反擴散的概率  ②運轉(zhuǎn)油擴散泵一定要避免處于高溫下的泵油與大氣接觸,否則會發(fā)生泵油的裂解、氧化,污染整個真空系統(tǒng)的重大事故。